手動(dòng)硅片清洗設(shè)備特點(diǎn)：
可根據(jù)不同的清洗工藝配置各種相應(yīng)的清洗功能槽。
功能槽包括：加熱酸缸、HF腐蝕、BHF（HF恒溫緩沖腐蝕）、超聲清洗槽、恒溫水浴、QDR（快排沖水）、電爐等。
清洗功能槽模塊化，各部分有獨(dú)立的控制單元，可隨意組合。
關(guān)鍵件采用進(jìn)口部件，提高設(shè)備的可靠性及使用壽命。
采用進(jìn)口耐腐蝕PP板材，防酸、防腐，有效避免酸液的侵蝕。
控制系統(tǒng)的元器件具備防腐、防潮功能，確保安全的工作環(huán)境。
結(jié)構(gòu)緊湊，凈化占地面積小，造型美觀、實(shí)用。
操作符合人機(jī)工程原理，具有良好的操作界面，使用方便、靈活。
閉式清洗，有效改善工作環(huán)境，保障操作人員安全。